Mis on kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline vahvli poleerimisplaat?

Pooljuhtide tööstuse kiire arenguga on tööstuse ulatus kiiresti suurenenud ning pooljuhtide tootmisseadmed on pidevalt arenenud täpsuse ja keerukuse poole. Kuna keraamikal on eelised nagu kõrge kõvadus, kõrge elastsusmoodul, kõrge kulumiskindlus, kõrge isolatsioon, korrosioonikindlus ja madal paisumine, saab seda kasutada räni poleerimismasinate, epitaksiaal-/oksüdeerimis-/difusioonkuumtöötlusseadmete, litograafiamasinate, sadestamisseadmete, pooljuhtide söövitusseadmete, ioonimplantatsioonimasinate ja muude seadmete osana, mõjutab täppis-keraamiliste osade uurimine, arendamine ja tootmine otseselt pooljuhtide tööstuse arengut. Nende valmistamise tehnilised nõuded muutuvad üha kõrgemaks.

Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiid, 99,7–99,9% alumiiniumoksiid.
Suur mehaaniline tugevus, kõrge kulumiskindlus, kõrge elektriisolatsioon, kõrge keemiline stabiilsus, hea kuumakindlus ja korrosioonikindlus. Praegu on keraamiliste lihvketaste kasutamine pooljuht-ränivahvli lihvimiseks kõige parem ja tipptasemel lihvimismeetod. Lõigatud ränivahvli lihvimiseks kasutatakse kahepoolset lihvimisprotsessi ning lihvimisprotsessi (ketta materjal, lihvimisvedelik, lihvimisrõhk ja -kiirus jne) täiustamise abil parandatakse lihvimisvahvli kvaliteeti. Eelkõige kasutatakse malmplaatide asemel keraamilisi plaate, et vältida armide või reostuse põhjustatud lihvimist vahvli põhipinnal, vähendada metalliioonide sissetoomist, vähendada räni edasist töötlemist, lühendada edasist protsessi (korrosiooni) aega, parandada tootmise efektiivsust ja vähendada räni töötlemise kadusid, parandades oluliselt räni kasutamist.

Kõrge alumiiniumoksiidi vahvli poleerimisplaatSeda kasutatakse pooljuhtide, nafta, keemia, fotogalvaanika, vedelkristallide ja muudes tööstusharudes, näiteks mehaaniliste osade, elektroonikaosade, mikrolaine induktsioonketaste, isolatsioonimaterjalide ja muude osade, pooljuhtseadmete, vaakumseadmete, vedelkristallide tootmisseadmete ja muude osade tootmisel. Suuremõõtmeline ja kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika omab olulist rakendusväärtust safiiritööstuses ja pooljuhtkiipide tööstuses. See on safiir- ja pooljuhtide räniplaatide keemilise mehaanilise poleerimise (CMP) peamine tugi- ja kulumaterjal. Suuremõõtmelist ja kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamikat saab kasutada ka alumiiniumoksiidi substraadina LCD-ekraanides.