99,7% alumiiniumoksiidi vahvliga poleerimisplaat

Lühike kirjeldus:

Chemshun 99,7% Al2O3 alumiiniumoksiidi substraat on kõrge puhtusastmega materjal ja uus suurmaterjal, millel on suurepärased füüsikalised omadused ja stabiilsed keemilised omadused ning hea hind võrreldes teiste materjalidega. Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi arendavad pidevalt ülemaailmsed tipptasemel teadusuuringud ja täiustatud keraamika- ja peenkeraamikatehased.

99,7% alumiiniumoksiidi vahvli poleerimisplaat keemiliseks mehaaniliseks poleerimiseks. CMP keemilise mehaanilise poleerimise protsessi oluline komponent. CMP on vajalik pooljuhtide safiiride ja vahvlite tootmisprotsessis.

Chemshun Ceramicsi kõrge puhtusastmega 99,7% alumiiniumoksiidkeraamika safiirpoleerimis- ja lihvimisplaadid. Ketta kuju on valmistatud PIBM-i tootmisprotsessi käigus. See on sisemine täiustatud tehnoloogia. PIBM lahendab edukalt suuremõõtmelise alumiiniumoksiidkeraamika pragude ja deformatsiooni peamise probleemi. PIBM-tehnoloogia avab uue akna peenkeraamika tootmiseks.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Taotlus

Alumiiniumoksiidi keraamiliste vahvlite poleerimis- ja safiirplaatidena, mida kasutatakse pooljuhtivate, teemantpoleerimiste jms jaoks.

Protsess: Kõik poleerimis- ja lappimisprotsessid, näiteks CMP keemiline mehaaniline poleerimine, mehaaniline poleerimine, täppispoleerimine.

Funktsioon

Kõrge puhtusaste ja keemiline vastupidavus
Suur mehaaniline tugevus ja kõvadus
Kõrge korrosioonikindlus
Kõrge pingetakistus
Kõrge temperatuurikindlus kuni 1700ºC
Äärmiselt kulumiskindel jõudlus
Suurepärane isolatsioonivõime
Kõik suurused 180, 360, 450, 600 mm jne

Toote nimi	99,7 kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamilised poleerimiskettad
Materjal	99,7% alumiiniumoksiid
Normaalne suurus	D180, 360, 450, 600 mm, kohandatud suurus aktsepteeritud.
Värv	Elevandiluu
Taotlus	Vahvli ja safiirmaterjali CMP protsess pooljuhtivas tööstuses
Minimaalne tellimus	1Pilt

Keemiline/füüsikaline teave

		Ühik	99,7 alumiiniumoksiidi keraamika
Üldised omadused	Al2O3 sisaldus	kaaluprotsent	99,7–99,9
	Tihedus	g/cm³	3,94–3,97
	Värv	-	Elevandiluu
	Veeimavus	%	0
Mehaanilised omadused	Paindetugevus (MOR) 20 °C juures	MPa (psix10^3)	440–550
	Elastsusmoodul 20ºC	GPa (psix10^6)	375
	Vickersi kõvadus	Gpa (kg/mm2) R45N	>=17
	Paindetugevus	GPA	390
	Tõmbetugevus 25ºC	MPa (psix10^3)	248
	Murdetugevus (KI c)	MPa* m^1/2	4-5
Termilised omadused	Soojusjuhtivus (20ºC)	W/mk	30
	Soojuspaisumistegur (25–1000 °C)	1x 10^-6/ºC	7.6
	Termiline löögikindlus	°C	200
	Maksimaalne kasutustemperatuur	°C	1700
Elektrilised omadused	Dielektriline tugevus (1MHz)	vahelduvvoolu-kv/mm (vahelduvvoolu-v/mil)	8.7
	Dielektriline konstant (1 MHz)	25ºC	9.7
	Mahu takistus	oom-cm (25ºC)	>10^14
		oom-cm (500ºC)	2 × 10^12
		oom-cm (1000ºC)	2 × 10^7