Chemshunalumiiniumoksiidi vahvli poleerimisplaatPöördlaud on valmistatud kõrge puhtusastmega 99,7–99,9% alumiiniumoksiidist. Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamikal on silmapaistev jäikus ja suurepärane kulumiskindlus kiipide poleerimiseks ning see säilitab hea pinnakuju pika aja jooksul. Selle on vorminud PIBM. See kuulub pooljuhtide tööstusse tänu oma võrratule termilisele ja mõõtmete stabiilsusele ning vastupidavusele mikrokiibitöötlusseadmete karmidele keskkondadele.
Keemilis-mehaaniline tasandamine (CMP), tuntud ka kui keemilis-mehaaniline poleerimine, on pooljuhtseadmete tootmisprotsessis kasutatav tehnoloogia. See kasutab keemilist korrosiooni ja mehaanilisi jõude, et töötlemise ajal siluda räniplaate või muid alusmaterjale.
CMP-seadmed jagunevad peamiselt kaheks osaks: poleerimisosa ja puhastusosa. Poleerimisosa koosneb neljast osast, nimelt kolmest poleerimisplaadist ja kiipide laadimis- ja mahalaadimismoodulist. Puhastusosa vastutab kiipide puhastamise ja kuivatamise eest, et saavutada kiipide "sisse- ja väljakuivatamine". Kogu poleerimisseadmes mängib olulist rolli alumiiniumoksiidkeraamika.
Alumiiniumoksiidkeraamikat kasutatakse tavaliselt vahvli poleerimisketaste valmistamiseks, mis nõuavad suurt puhtusastet, suurt keemilist vastupidavust ning head pinna kuju ja kareduse kontrolli.
Chemshuni 99,7% Al2O3 keraamiline lihvketas on valmistatud täiustatud keraamilistest materjalidest, mis sobivad mitmesuguste materjalide peeneks lihvimiseks, eriti habraste materjalide, näiteks vahvlite, keraamika ja klaasi lihvimiseks. Meie keraamilist lihvketast saab valmistada erineva suurusega vastavalt erinevatele lihvimis- ja poleerimismudelitele.
Postituse aeg: 30. mai 2025